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    晶圓應力麻豆99一区二区在线观看

    • 型 號:PA-110-t
    • 訪問次數:3995
    • 更新時間:2025-01-24
    • 價   格:

    晶圓應力麻豆99一区二区在线观看PA-110-T,Z大可測8英寸Wafer、藍寶石、SiC晶圓等結晶缺陷的評估,藍寶石或SiC等透明晶圓的結晶缺陷,會直接影響到產品的性能,所以缺陷的檢測和管理是製造過程中不可欠缺的重要環節,目前為止,產線上的缺陷管理,多是使用偏光片以目視方式進行缺陷檢測,但是這樣的檢查方式,因無法將缺陷量化,當各批量間產生變動或者缺陷密度緩慢增加時,就無法以目視檢查的方式正確找出缺陷。

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    晶圓應力麻豆99一区二区在线观看PA-110-T將特殊的高速偏光感應器與XY stage 結合起來, 8英寸晶圓僅需5分鍾,即可取得整麵的雙折射分布資料。

    所以由定量化的結晶缺陷評估,提高雙折射品質的穩定性。

    Wafer整麵的雙折射數據,可將結晶缺陷程度數值化。

    特點:

    1,XY自動Stage 拚貼功能

    針對大尺寸的Wafer 數據,以拚貼方式自動合成。

    2,使用大口徑遠心鏡頭

    以垂直光線進行測量,因不受視角影響,連周邊區域都可高精度測量。

    測量原理

    當光線穿透雙折射特性的透明物質時,光的偏光狀態會產生變化(光彈性效應)。換句話說,比較光穿透透明物體前與後的偏光狀態,即可評估物質的雙折射。

    該設備裝配的偏光感應器,使用了本司*的Photonic結晶組裝而成, 能瞬間將偏光信息以影像方式保存,再搭配專屬的演算,影像處理軟件,能將雙折射分布數據定量化,使得分析變得更加便利。

    可觀察的晶圓尺寸與貼合影響。

    自動影響貼合功能,可觀察8英寸Wafer。

    φ 8 inch(4×5)

    PA-110-T 規格:

    項目

    規格

    測量範圍

    0~130nm

    重複精度

    <1nm

    偏光像素

    1120×868pixels

    測量波長

    520nm

    尺寸

    如下圖

    電源

    AC100~240v 50/60HZ

    軟件

    PA-110-Rasterscan, PA-View

    其他配件

    台式電腦


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